稀土拋光粉末通常由氧化鋁、氧化硅、氧化鋯、氧化鈰和其他成分組成。不同的材料具有不同的硬度和水中不同的化學性質，因此在使用場合是相同的。氧化鋁和氧化鋯的莫氏硬度為9，氧化鈰和氧化硅的硬度為7，氧化鐵較低。由于玻璃的拋光，氧化鈰和硅酸鹽玻璃具有較高的化學活性和相同的硬度。