鈰基拋光粉是拋光過程的頂部，一般由氧化鈰、氧化鋁、氧化硅、氧化鐵、氧化鋯、氧化鉻等成分組成。不同材料的硬度不同，在水中的化學性質也不同，因此應用場合也不同。鈰基拋光粉是較重要的拋光粉產品之一。由于其切割能力強，拋光時間短，拋光精度高，操作環境清潔等優點，因此比其他拋光粉好。對于高鈰拋光粉，氧化鈰等級越高，拋光能力越大，使用期限也越長，特別是硬玻璃長期循環拋光（石英、光學透鏡號），宜使用鈰拋光粉。目前，我國生產氧化鈰稀土拋光粉有多種材料，不同的材料對應不同的制備工藝。