常用的拋光粉末來自混合稀土，輔以氟化物、石英、鈣、鋇、鐵和少量其他雜質。20世紀60年代至70年代，拋光粉的制備工藝和生產方法取得了相對集中的研究成果。稀土拋光材料常用的制備工藝是在固體下使稀土富集發生化學變化，從而轉化為機械化學性能穩定的化合物。稀土氧化物含量為40~70%(含30~65%的氧化物)，粒度為1~4微米。拋光粉價格相對便宜，切割率高。主要用于拋光陰極射線管、平板玻璃和鏡片。第二種氧化物基拋光粉末采用化學沉淀法生產。