鈰基拋光液的性能直接影響拋光工件的表面質量，是雙面拋光的關鍵鍵元素之一。鈰基拋光液一般含有超細固體研磨顆粒、表面活性劑、氧化劑和穩定劑，其中固體研磨顆粒具有切割效果，去除需要去除的化學變化，氧化劑產生化學腐蝕和溶解，從而溶解碎片。在拋光過程中，鈰基拋光液的類型、形狀、尺寸、濃度和化學成分，pH值、粘度、流速和流路都會影響去除率。