鈰基拋光液的性能直接影響拋光工件的表面質(zhì)量，是雙面拋光的關(guān)鍵要素之一。鈰基拋光液一般包括超細(xì)固體研磨顆粒，表面活性劑、氧化劑和穩(wěn)定劑，其中固體研磨顆粒產(chǎn)生切割效果，去除需要去除的化學(xué)變化，氧化劑產(chǎn)生化學(xué)腐蝕溶解，溶解碎片。