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研磨拋光液的用途和優點
來源:
www.tztxgd.com | 發布時間:2023年01月02日
在半導體加工過程中,研磨鈰基拋光液無疑是一項重要的技術。主要用于半導體表面加工,研磨液和拋光液是影響半導體表面質量的重要因素。
研磨是半導體加工中的一個重要過程。研磨是利用化學研磨溶液與研磨料混合加工半導體表面,使其成為精密儀器的過程。需要指出的是,化學研磨過程幾乎包括半導體生產過程的每個環節,使研磨和拋光液成為影響半導體表面成功的重要因素。
事實上,常見的拋光液有很多種,不同的拋光液有不同的性質和功能。氧化鋁磨料流體具有多種特性,在選擇過程中可以選擇效果不同的氧化鋁磨料流體,研磨速度快,可以節省研磨時間,提高生產效率,效果好,表面光滑。金剛石研磨液是一種常見的液體,需要加油或加水稀釋,但其優點也很突出,效果明顯,方便,沒有污染,無腐蝕。金剛石顆粒硬度好,粒度均勻,研磨效果也很好。藍寶石研磨液用于研磨和稀釋藍寶石襯底。在研磨和拋光過程中,保持高切割效率,不易劃傷工件。
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